超精密數(shù)控機(jī)床靜壓導(dǎo)軌直線度調(diào)整方法

    所述靜壓導(dǎo)軌包括：動(dòng)導(dǎo)軌和定導(dǎo)軌，動(dòng)導(dǎo)軌和定導(dǎo)軌之間用靜壓油膜隔開(kāi)，動(dòng)導(dǎo)軌在定導(dǎo)軌上移動(dòng)時(shí)，以動(dòng)導(dǎo)軌移動(dòng)時(shí)的低點(diǎn)為基準(zhǔn)，測(cè)量導(dǎo)軌移動(dòng)時(shí)各點(diǎn)在高度方向上的直線度誤差；在定導(dǎo)軌上安裝副導(dǎo)軌，副導(dǎo)軌移動(dòng)時(shí)與動(dòng)導(dǎo)軌相同，并與動(dòng)導(dǎo)軌同步移動(dòng)，副導(dǎo)軌上裝電磁線圈，并在動(dòng)導(dǎo)軌的相應(yīng)位置安裝電磁鐵芯；根據(jù)測(cè)得的動(dòng)導(dǎo)軌上各點(diǎn)相對(duì)于基準(zhǔn)點(diǎn)的高度誤差值，測(cè)量各點(diǎn)下壓至基準(zhǔn)點(diǎn)時(shí)所需的力，計(jì)算電磁鐵芯產(chǎn)生該吸力所需的電流電壓值；在副導(dǎo)軌上安裝電磁線圈，以電磁力使動(dòng)導(dǎo)軌上各點(diǎn)的電流始終保持在所需的水平。將帶電磁線圈的副導(dǎo)軌安裝在定導(dǎo)軌上，在相應(yīng)的動(dòng)導(dǎo)軌上安裝電磁鐵芯，通上電流電壓后電磁鐵芯產(chǎn)生吸力，使動(dòng)導(dǎo)軌上的每一點(diǎn)受力，并始終保持與定導(dǎo)軌基準(zhǔn)點(diǎn)平直的直線上運(yùn)動(dòng)，從而控制動(dòng)導(dǎo)軌與定導(dǎo)軌之間的直線度誤差。線度調(diào)整精度高，科學(xué)合理。

    所述靜壓導(dǎo)軌包括動(dòng)導(dǎo)軌1、定導(dǎo)軌2、動(dòng)導(dǎo)軌1和定導(dǎo)軌2之間用靜壓油膜3隔開(kāi)，具體步驟是：當(dāng)動(dòng)導(dǎo)軌1在定導(dǎo)軌2上移動(dòng)時(shí)，以動(dòng)導(dǎo)軌1移動(dòng)時(shí)的低點(diǎn)為基準(zhǔn)點(diǎn)，測(cè)量導(dǎo)軌1移動(dòng)時(shí)各點(diǎn)在高度方向上的直線度誤差；測(cè)量動(dòng)導(dǎo)軌1上各點(diǎn)相對(duì)于基準(zhǔn)點(diǎn)的高度誤差值，測(cè)量動(dòng)導(dǎo)軌4和定導(dǎo)軌4的移動(dòng)方向與動(dòng)導(dǎo)軌1一致，并與動(dòng)導(dǎo)軌1同步移動(dòng)，副導(dǎo)軌4上裝電磁線圈5，在動(dòng)導(dǎo)軌1的相應(yīng)位置安裝電磁線圈5，通過(guò)測(cè)量動(dòng)導(dǎo)軌1上各點(diǎn)相對(duì)于基準(zhǔn)點(diǎn)的高度誤差值，確定動(dòng)導(dǎo)軌1上各點(diǎn)向基準(zhǔn)點(diǎn)移動(dòng)時(shí)的力值。同時(shí)還可以在水平方向上布置一組副導(dǎo)軌和相應(yīng)的電磁線圈、電磁鐵心，以控制水平方向的直線度誤差。